Pêvajoya plazmayê amûrek e ku ji bo hilberîna plazmayê tê bikar anîn. Struktura wê ji hêmanên sereke yên jêrîn pêk tê:
Odeya dakêşanê: Odeya dakêşanê pêkhateya bingehîn a pêvajoyek plazmayê ye. Ew zeviyên elektrîkê yên voltaja AC-ya bilind an frekansa radyoyê bikar tîne da ku bibe sedema vekêşana gazê, bi vî rengî plazmayê çêdike. Odeya avêtinê bi gelemperî ji materyalên îzolekirinê yên wekî seramîk an cam tê çêkirin.
Odeya xebatê: Odeya xebatê cîhê bingehîn e ji bo hilberîna materyalê. Bi kontrolkirina pîvanên cûda yên gaz, zext û hêzê re bandorên pêvajoyê yên cihêreng têne bidestxistin. Odeya xebitandinê bi gelemperî ji materyalên ku xwedan taybetmendiyên vegirtina valahiya baş, wek metal an seramîk, têne çêkirin.
Pergala valakirinê: Pergala valahiyê ji bo derxistina gazê ji odeya xebatê tê bikar anîn da ku di dema pêvajoyê de hawîrdorek valahiyê biafirîne. Pergala valahiya bi gelemperî ji pompek valahiya û pergala kontrola têkildar pêk tê.
Hêza frekansa bilind-Pêkanîna elektrîkê ya bi frekansa bilind-enerjiyê dide pêvajoya plazmayê, gazê îyonîze dike û di nav qada elektrîkê ya bi frekansa bilind-da plazmayê çêdike. Dabînkirina hêzê ya frekansa bilind bi gelemperî ji hêmanên elektronîkî û pergalên kontrolê yên têkildar pêk tê.
Pergala kontrola otomatîk: Pergala kontrola otomatîkî tevahiya pêvajoya pêvajoya plazmayê kontrol dike, di nav de mîhengkirina parametreyê, kontrola dema pêvajoyê, û çavdêriya asta valahiya. Pergala kontrola otomatîkî bi gelemperî ji komputerek û nermalava kontrola têkildar pêk tê.
Wekî din, pêvajoyên plazmayê bi pergalek dabînkirina gazê ve têne saz kirin da ku gazên pêwîst ji jûreya avêtinê re peyda bikin. Ev pergal bi gelemperî ji sîlînderek gazê, rêgezek zextê, kontrolkerek herikînê, û hêmanên din pêk tê.
Bi kurtahî, strukturên pêvajoyek plazmayê jûreya dakêşanê, jûreyek xebitandinê, pergala valahiya, dabînkirina hêzê ya frekansa bilind, û pergalek kontrolê ya otomatîkî vedihewîne. Xebata hevrêzî ya van hêmanan dihêle ku pêvajoya plazmayê reaksiyonên cihêreng ên laşî û kîmyewî li ser rûyê materyalê derxe, bi vî rengî dermankirina xwestinê bi dest bixe.